关于我们
公司简介
一塔半导体(安徽)有限公司,专注于半导体先进制程设备研发、生产及销售,产研基地分别位于合肥经开区和浙江德清(瑶光半导体)。
一塔半导体(ETA-Semitech)已成功正向研制外延生长系统(MOCVD)和退火系统(RTP及激光退火),并实现了多项创新技术方案的申请与应用,涵盖自主研发的SiC/GaN外延生长技术,快速热处理/热氧化/热氮化(RTA/RTO/RTN)技术,以及功率芯片背面激光退火、金属合金等系统解决方案。目前,公司已获得多项发明授权,设备性能在业界处于先进水平。ETA-semitech始终坚持全流程正向研发,不断追求创新,致力于助力合作伙伴实现其愿景。
专注于半导体先进制程设备的研发、生产及销售!
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浙江基地:浙江省德清县千人计划产业园2号楼
安徽基地:安徽省合肥市珠江路科技园B栋1-103室
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