自主创新，正向研发

专注于第三代半导体设备生产研发及销售

挑战超越实现

ETA-Semitech

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产品与服务

ETA-Semitech® 激光退火系统

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ETA-Semitech® MOCVD外延系统

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ETA-Semitech® 快速退火系统

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我们是谁？

专注于半导体先进制程设备研发、生产及销售！

一塔半导体（安徽）有限公司，专注于半导体先进制程设备研发、生产及销售，产研基地分别位于合肥经开区和浙江德清（瑶光半导体）。

一塔半导体（ETA-Semitech）已成功正向研制外延生长系统（MOCVD）和退火系统（RTP及激光退火），并实现了多项创新技术方案的申请与应用，涵盖自主研发的SiC/GaN外延生长技术，快速热处理/热氧化/热氮化（RTA/RTO/RTN）技术，以及功率芯片背面激光退火、金属合金等系统解决方案。目前，公司已获得多项发明授权，设备性能在业界处于先进水平。ETA-semitech始终坚持全流程正向研发，不断追求创新，致力于助力合作伙伴实现其愿景。

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