产品与服务

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ETA-Semitech® 激光退火系统

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ETA-Semitech® MOCVD

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ETA-Semitech® 周边设备

我们是谁?


专注于第三代宽禁带半导体先进制程设备研发、生产及销售

ETA-Semitech(瑶光半导体)专注于宽禁带半导体制程设备研发、生产及销售,其控股公司一塔半导体(安徽)有限公司位于合肥市,产研基地坐落于合肥市经济技术开发区和湖州市莫干山高新技术产业开发区。创始人及核心团队合作多年,具有丰富的自动化设备创业经验及上市公司管理经验。

 

ETA-Semitech致力于半导体制程设备研发,已成功研发外延生长系统(MOCVD)和退火系统(激光退火/RTP),公司拥有多项技术方案,包括自主创新SiC/GaN外延生长方案,快速热处理(RTA)、热氧化(RTO)、热氮化(RTN)、离子注入退火、金属合金、功率芯片背面激光退火等解决方案。持有多项技术和软件著作,包括闭环温度控制系统和惰性气体屏障技术。

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行业解决方案

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行业技术专家