一塔半导体｜行星式MOCVD系统下线

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【概要描述】8月2日，一塔半导体自研行星式MOCVD外延系统装配验收并下线。

8月2日，一塔半导体自研行星式MOCVD外延系统装配验收并下线。

此次系统的下线，预示着一塔半导体MOCVD已完成EV工程验收工作。这不仅标志着一塔半导体在三代半半导体装备研发领域取得了重要进展，也预示着公司将进一步加速其产品的市场应用与规模化量产。

下线活动的圆满结束及合肥首期工厂逐步交付使用，这将为公司后续的研发与生产提供坚实的硬件基础，同时为产品最终交付提供保障。

一塔半导体始终坚持正向开发与模块化设计的原则，该系统采用了自主研发的行星式反应腔设计，结合六西格玛稳健性开发与可靠性设计，以及先进的自动化生产技术和自研的核心零部件，实现了长期稳定运行、高产高效的生产能力，充分满足了客户对于高品质外延材料的需求。

ETA-Semitech® MOCVD外延系统-ES600系列

行星式MOCVD系统多项技术优势：

一塔半导体将继续秉承创新、务实的精神，不断推动半导体先进制程装备技术的进步，为半导体产业国产化的发展贡献更多力量。