喜报|“SiC激光退火设备”顺利通过省首台（套）产品工程化攻关项目验收

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【概要描述】近日，瑶光半导体（浙江）有限公司“SiC激光退火设备”顺利通过省首台（套）产品工程化攻关项目验收。

10月22日，受省经信厅委托，浙江省经济和信息局组织召开了瑶光半导体（浙江）有限公司的浙江省首台套产品工程化攻关项目“SiC激光退火设备”专家验收会。

经过现场汇报、答疑、评审，专家组一致同意通过验收，为浙江省首台（套）装备申报工作奠定了坚实基础。这也是继“南太湖精英计划”之领军型创业团队荣誉后，企业获得的一项省级创新成果。

SiC激光退火设备-ES500系列

瑶光半导体自主研发的激光退火设备，具有扫描速度快、控制精度高、能耗低等优势，能够有效改善SiC材料的微观结构，提高器件的性能和可靠性，同时满足了市场对高品质、高效率生产的需求。该设备的成功研制，不仅满足了市场需求，也推动了半导体制造技术的进步。

产品创新点

双退火模式：局部、全局退火，开发了路径优化算法，解决了单一退火模式无法满足不同工艺下的定制退火问题；

激光自动对焦技术+ 高速光闸装置：解决了因晶圆厚度不同导致激光不能聚焦的问题，提高了晶圆退火位置精度；

保护气体填充及匀化技术：可显著提高晶圆退火区域气体保护均匀性，实现退火时形成极致的气体保护屏障隔离氧气，提升了退火效果，保持了退火一致性。

备注：

浙江省首台“套”：浙江省“首台（套）”是指本省企业首次自主研发生产并经用户单位使用且符合省装备制造业重点领域及年度扶持重点的单台产品或成套设备，是该技术领域的标志性成果。