校企联动丨中国科学技术大学师生一行到访一塔参观交流

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【概要描述】

2025年10月27日上午，中国科学技术大学近40名师生走进一塔半导体合肥总部，此次校企互动旨在打破课堂与产业的壁垒，拓宽学生学术视野，深化高校与企业间的产学研合作，推动集成电路领域学术研究与产业实践的深度融合，推动集成电路领域高素质人才的培养与储备。

在合肥产研基地展厅，同学们通过设备模型、宣传片及技术展板，系统了解了半导体产业链中关键的晶圆外延工艺环节及其设备发展历程，对一塔半导体的技术布局与产业定位建立了初步认知。

随后的技术交流环节中，一塔半导体董事长王涛为师生详细介绍了公司自主研发的行星式MOCVD外延设备系统架构与技术优势，深入剖析了其在温场均匀性、气流稳定性与产能效率方面的突破。工艺工程师郭军强则围绕碳化硅外延技术的市场前景、工艺难点与主流设备发展趋势展开分享，结合一线案例，生动阐释了外延工艺在第三代半导体制造中的关键作用。互动环节中，同学们踊跃提问，就MOCVD腔体设计、SiC外延缺陷控制等专业问题进行了深入探讨。

实验室实地参观环节,在严格的洁净规范指引下，同学们穿戴无尘服，有序进入洁净实验室，近距离观察一塔MOCVD设备的运行状态与工艺流程，体验晶圆制造的真实环境，感受科技背后对细节与规范的极致追求。

参与学生纷纷表示，此次实地参访不仅拓宽了对半导体装备的认知边界，更深刻体会到产学研协同创新对产业进步的重要意义，为今后的学术方向与职业规划提供了宝贵参考。

一塔半导体相关负责人表示，公司始终重视人才生态建设，持续将生产实践平台向高校开放，积极履行产业教育使命。未来，一塔将继续深化校企联动，为更多学子提供接触行业前沿、理解产业需求的窗口，助力中国半导体行业培育兼具理论与实战能力的高水平创新人才。

关于一塔

一塔半导体（安徽）有限公司，专注于半导体先进制程设备研发、生产及销售，产研基地分别位于合肥经开区和浙江德清（瑶光半导体）。一塔半导体（ETA-Semitech）已成功正向研制外延生长系统（MOCVD）和退火系统（RTP及激光退火），并实现了多项创新技术方案的申请与应用，涵盖自主研发的SiC/GaN外延生长技术，快速热处理/热氧化/热氮化（RTA/RTO/RTN）技术，以及功率芯片背面激光退火、金属合金等系统解决方案。目前，公司已获得多项发明授权，设备性能在业界处于先进水平。ETA-semitech始终坚持全流程正向研发，不断追求创新，致力于助力合作伙伴实现其愿景。

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