ETA-Semitech®VTM真空传输模块

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设备介绍：采用先进的机械手技术、高可靠的真空锁定技术与智能算法，彻底革新材料搬运方式，实现全流程自动化与极致洁净度的双重保障！

技术优势

一、重复定位精度高
机械手重复定位精度±0.1mm以内

二、高速稳定切换
进/出料腔室可迅速并稳定地进行真空与大气状态的切换

三、毫托级别真空度
整机平台可达到亳托级别真空度并保证漏率合格

四、多重传感器保障
平台配有多个检测传感器检测传输过程是否正常
关键词:
- 半导体
- 欧姆接触
- 过渡金属