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ETA-Semitech® ES730全自动快速退火炉

所属分类: 快速热处理

RTP ES730是一款面向高端芯片制造与大规模工业化生产的高端快速热处理设备。其集成晶圆传输系统，实现了从装载、预热、工艺处理、冷却到卸载的全流程自动化。设备可选配创新的“双腔集群”架构，能够有效实现产能叠加，显著提升设备吞吐量与整体生产效率。
ETA-Semitech® ES730全自动快速退火炉
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  • 产品描述
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    • 半导体
    • 欧姆接触
    • 过渡金属

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