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产品与服务
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ETA-Semitech® ES730全自动快速退火炉

所属分类: 快速热处理

产品应用：LED行业退火专用设备，高产能
ETA-Semitech® ES730全自动快速退火炉
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  • ETA-Semitech® ES730全自动快速退火炉
  • 产品描述

  • 技术优势

    一、卓越的工艺一致性
    多区动态温控，良好的温度均匀性
     

    二、工厂自动化集成
    标配SECS/GEM协议，支持SMIF或标准FOUP
     

    三、宽工艺窗口
    支持多段升温/降温曲线编程，具备精确的温度校准和过程监控功能
     

    四、产能优势
    可选配双腔,单腔9*4inch容量

    关键词:
    • 半导体
    • 欧姆接触
    • 过渡金属

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