ETA-Semitech® 寻边器

所属分类: 周边设备

应用半导体EFEM制程

技术优势

• 寻边速度快：最快1.5s完成晶圆寻边及圆心、缺边校准；
• 成本低：全国产化设计，比进口寻边器成本降低73%；
• 定位精度：圆心<±0.1mm，θ<±0.2°；
• 批量交付：可批量生产交付，不受进口货期影响；
• 总线通讯控制，响应速度1ms；
• 自研算法：寻边算法自主研发；

• 拥有完全自主知识产权。

产品参数
关键词:
- 半导体
- 欧姆接触
- 过渡金属