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ETA-Semitech® MOCVD外延系统ES600 - SiC

所属分类: MOCVD 外延系统

产品应用：本系统专为SiC基功率器件外延大规模量产设计，面向新能源车主驱逆变器、充电桩、光伏逆变器等高压应用领域。 技术优势：采用高温CVD反应腔设计与全自动C2C传输技术，支持9pcs×6英寸批次配置，满足车规级功率器件对大批量生产的严苛要求。
ETA-Semitech® MOCVD外延系统ES600 - SiC
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  • 产品描述
  • 关键词:
    • 半导体
    • 欧姆接触
    • 过渡金属

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