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ETA-Semitech® MOCVD外延系统 ES605&ES607-GaAs

所属分类: MOCVD 外延系统

产品应用：本系统专为GaAs基化合物半导体外延大规模量产设计，面向射频前端（pHEMT/HBT）、VCSEL及Micro LED等高端应用领域。 技术优势：采用行星式反应腔设计与全自动C2C传输技术，支持9pcs×6英寸（ES605）与6pcs×8英寸（ES607）灵活配置，满足从6英寸成熟产线向8英寸大尺寸晶圆的平滑过渡。
ETA-Semitech® MOCVD外延系统 ES605&ES607-GaAs
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  • ETA-Semitech® MOCVD外延系统 ES605&ES607-GaAs
  • 产品描述
  • 关键词:
    • 半导体
    • 欧姆接触
    • 过渡金属

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