ETA-Semitech® MOCVD外延系统ES606&ES608-InP

所属分类: MOCVD 外延系统

产品应用：本系列设备专为InP化合物半导体外延规模化量产设计，可广泛用于光通信激光芯片、射频器件、红外传感等领域。

技术优势

一、高精度温控
闭环精准控温，稳定腔体内生长温场

二、2+2喷淋头设计
优化布气,改善片内均匀性，抑制预反应、提高源效比

三、多片式反应腔
公转 + 自转协同，片内、片间外延厚度与组分一致性佳

四、C2C全自动传片
全自动盒到盒晶圆传输系统，减少引入颗粒缺陷

五、Cl₂原位清洁
内置原位蚀刻，延长设备维护周期，提高稼动
关键词:
- 半导体
- 欧姆接触
- 过渡金属