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ETA-Semitech® MOCVD外延系统ES606&ES608-InP

所属分类: MOCVD 外延系统

产品应用：本系统专为InP基化合物半导体外延大规模量产设计，面向高速光模块（100G/400G/800G）、光子集成电路（PIC）、FMCW激光雷达等高端光电子应用领域。 技术优势：采用行星式反应腔设计与全自动C2C传输技术，支持15pcs×4英寸（ES606）与9pcs×6英寸（ES608）灵活配置，满足4英寸向6英寸晶圆平滑过渡的产线需求。
ETA-Semitech® MOCVD外延系统ES606&ES608-InP
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  • ETA-Semitech® MOCVD外延系统ES606&ES608-InP
  • 产品描述
  • 关键词:
    • 半导体
    • 欧姆接触
    • 过渡金属

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