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ETA-Semitech® MOCVD外延系统 ES611&ES612-GaN

所属分类: MOCVD 外延系统

产品应用：本系统专为GaN基化合物半导体外延大规模量产设计，面向功率电子（快充、数据中心电源、车载充电机）与射频器件（5G基站PA、雷达系统）等高端应用领域。 技术优势：采用行星式反应腔设计与全自动C2C传输技术，支持15pcs×4英寸（ES611）与9pcs×6英寸（ES612）灵活配置，满足不同产线的产能需求。
ETA-Semitech® MOCVD外延系统 ES611&ES612-GaN
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  • 产品描述

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    关键词:
    • 半导体
    • 欧姆接触
    • 过渡金属

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